کلیدواژه‌ها = %D9%86%DB%8C%D8%B1%D9%88%DB%8C %DA%A9%D8%A7%D8%B3%D9%85%DB%8C%D8%B1
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی