کلیدواژه‌ها = %D9%86%DB%8C%D8%B1%D9%88%DB%8C %D8%A7%D9%84%D8%A7%D8%B3%D8%AA%DB%8C%DA%A9
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی