کلیدواژه‌ها = %D9%85%DB%8C%D8%B1%D8%A7%DB%8C%DB%8C %D9%81%D8%B4%D8%A7%D8%B1%DB%8C
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی