کلیدواژه‌ها = %D9%81%D9%86%E2%80%8C%DA%A9%D8%A7%D8%B1%D9%85%D8%A7%D9%86
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی