کلیدواژه‌ها = میکرو الکترو مکانیک
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی