کلیدواژه‌ها = %D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88 %D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88 %D9%85%DA%A9%D8%A7%D9%86%DB%8C%DA%A9
سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

دوره 22، شماره 2، خرداد و تیر 1392، صفحه 61-69

حمید غضنفر؛ مسعود طهانی