کلیدواژه‌ها = سیستم‌ میکروالکترومکانیکی
مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

دوره 25، شماره 1، فروردین و اردیبهشت 1395، صفحه 42-48

حسین عباس‌زاده مبارکی