%0 Journal Article %T بررسی حساسیت فشار سنج دیافراگمی مبتنی بر فناوری مایکروالکترومکانیک با استفاده از تحلیل المان محدود %J مجله مهندسی مکانیک %I انجمن مهندسان مکانیک ایران %Z 1605-9719 %A موسویان, سید فرحان %A برزویی, داریوش %A فرج الهی, میثم %D 2022 %\ 02/20/2022 %V 30 %N 6 %P 57-67 %! بررسی حساسیت فشار سنج دیافراگمی مبتنی بر فناوری مایکروالکترومکانیک با استفاده از تحلیل المان محدود %K فشار سنج %K فناوری مایکروالکترومکانیک %K حساسیت %K تحلیل المان محدود %K دیافراگم موج دار %R 10.30506/mmep.2022.541018.1965 %X سنسورهای فشار دیافراگمی در صنایع مختلفی مورد استفاده قرار میگیرند. پژوهش های زیادی برایبهینه سازی و ارتقای کیفی این سنسورها انجام گرفته است. در این مقاله، "حساسیت" به عنوان یک متغیر کلیدیدر طراحی سنسور فشار دیافراگمی مبتنی بر فناوری میکروالکترومکانیک مورد بررسی قرار گرفته است. هندسهدیافراگم یکی از تاثیر گذارترین متغیرها در حساسیت یک فشار سنج دیافراگمی است که می تواند علاوه برحساسیت، محدوده عملکردی، دقت سنسور، ابعاد و حتی قیمت آن را تحت تاثیر قرار دهد. لذا با هدف افزایشعملکرد و حساسیت سنسور های فشار، نسبت به شبیه سازی دیافراگم سنسور در نرم افزار تجاری آباکوس اقدامگردید و ضمن اعتبار سنجی حلگر محاسباتی، هندسه های مختلف دیافراگم مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج بدستآمده گواه آن بود که دیافراگم دایره ای دارای بهترین علمکرد است. در اثر موج دار کردن سطح دیافراگم بررسیشد و شکل های مختلفی از موج های ایجادی در بستر دیافراگم، شبیه سازی گردید. نتایج بدست آمده حاکی ازآن بود که ایجاد موج دایره ای با شعاع 51 میکرومتر در انتهای سطح دیافراگم، موجب افزایش 51 درصدیحساسیت سنسور می گردد. %U https://mmep.isme.ir/article_252292_f54d8c364accc9be975275f52915f254.pdf